第1161章光刻機

段雲這次來日本，雖然所有的住宿餐飲全部由日方負責接待，但是段雲還是提前兌換出了30萬美元，以備不時之需。

當天晚上，段雲一直思考到很晚才睡著，內心帶著幾分不安和焦慮。

而在另一側房間的李芸，也同樣到很晚才睡著的，和段雲分開後，她一直都坐在房間靠窗的沙發上，看著窗外璀璨奪目的東京夜景，內心則是滿滿的興奮和激動……

……

第2天一早，東芝派車把段雲接到了位於東京市郊的芯片工廠，而這次接待他們的，則正是上次來華考察的田中信一。

看到段雲之後，田中也表現的非常熱情，領他到東芝的芯片工廠進行了參觀。

一直以來，日本的芯片產業由6家巨型電子公司做掌控，其中包括：日本電器，富士通，日立，東芝，三菱電機，和衝電器組成，他們直接從政府得到資助，用於提高日本高科技行業的技術。

這些公司不僅生產芯片還生產電子設備，不過在80年代的時候，這些公司的年營業額收入中隻有7%來自芯片的銷售，而在這幾家企業中，東芝公司的占比稍高一些，能達到13%左右。

在田中信一的帶領下，段雲和李芸進入了生產車間後，立刻就被工作人員安排換上了防塵服。

段雲的天音電子廠也有無塵車間，但是和東芝公司的無塵車間相比，相差了不止一個等級，這個車間的密封度非常高，工人進入車間的時候不僅要穿上全套的防塵服，而且還要進行全身的清洗和消毒。

而進入生產車間後，裡麵的情況也讓段雲和李芸感到了震撼。

所有的工人都在有條不紊的工作著，裡麵的機器看起來非常的先進和精密，偌大的車間隻有100多名工人，但根據田中信一的介紹，這個車間年產芯片能達到驚人的500萬枚。

芯片生產是個非常精密複雜的過程，車間裡的每樣設備動輒幾百萬，甚至上千萬美元，投入是相當巨大的。

另外生產芯片的機器主要有光刻機，等離子刻蝕刻機，離子注入機，單晶爐，晶圓劃片機，晶片減薄機，氧化爐，低壓化學氣沉澱積係統，磁控濺射台，化學機械研磨機，引線鍵合機，以及探針測試台等等。

這些設備都是當前國際芯片產業最先進的設備，而最為後世人所熟知的芯片生產設備，就當屬光刻機了。

光刻機也叫做激光雕刻機，是一種專門用來製造微小電子元件的設備，至於這個“微小”要微小到什麼程度呢？就拿當今世界上最流行的芯片工藝來說，7nm工藝大概要求大概是人類頭發絲的萬分之一，可以想象這其中的技術有多難了。

我國實際上也進行過光刻機的研發，並且這件事要追溯到半個世紀以前的60年代。當時，我國的專家們就已經研發出了65型接觸式光刻機，而當時荷蘭ASML公司還要過5年才成立，說來也是諷刺，雖然我國當時領先了荷蘭ASML五年，後來卻一落千丈，遠遠落後世界水平。

原來在80年代，我國光刻機技術出現了一次“滑鐵盧”，不知道是科研資金不夠還是“飄了”，我國科研人員甚至一度放棄了光刻機的研究，並且倡導從國外進口。可能當時的人沒能考慮到進口的弊端，於是自研光刻機的事就一直被擱置了起來，就連前麵20年的研究成果，也都付諸東流了。

也許是中國半導體行業的不景氣，就連最後堅守在光刻機行業的武漢三廠最終也選擇了轉行，並賣起了零食，後來，直到台灣台積電公司開發出了193nm光刻機，國人才終於頓悟，直至今日，我國光刻機還是依靠進口。

通過對田中信一的詢問，目前東芝電子廠已經可以生產4~5英寸圓晶，0.9微米級彆的芯片。

聽到田中的介紹，段雲內心有些暗暗吃驚。

其實早在來日本之前，段雲對國內目前的芯片產業技術情況已經有了比較全麵的了解。

1986年，電子工業部在廈門召開集成電路發展戰略研討會，提出“七五”（1986—1990年）期間我國集成電路技術的“531”發展戰略，即普及推廣以742廠為基點的5微米技術，同時開發3微米技術，攻關1微米技術。

但實際上，一直到1993年的時候，國內才開發出5英寸，三微米技術，而這比起日本，已經整整相差了15年以上。

“這套設備我要了。”段雲走到一台光刻機前，對田中信一說道。

“段雲先生……”田中聞言先是愣了一下，隨即笑著對段雲說道：“這是目前我們公司最先進的光刻機，全日本也隻有6台，這個是不可能賣給你們的……另外你們生產的這種閃存芯片也用不著精密度這麼高的光刻機。”

“那貴公司打算賣給我們哪一台光刻機？”段雲問道。

段雲其實早就知道東芝公司不可能把最先進的東西賣給自己，而且就算他賣，日本政府也不會同意。

一直以來日本政府對於芯片產業扶持力度都非常大，不光稅收方麵有優惠，東芝芯片產業的稅率隻有百分之20，遠遠低於美國公司45%~50%的稅率，另外日本政府一直鼓勵國內頂級高校的大學生從事芯片產業技術研究，並且設立了相關專業的高額獎學金，也正是因為以上種種舉措，才使得日本的芯片產業力壓美國，成為全球第一。

頂尖的光刻機是絕對不可能賣給中國的，除了日本政府的嚴格監督，還有就是受限於巴統協議，所以從一開始，東芝在中國辦廠所用的設備注定不是最先進的。

實際上光刻機一直都是製約中國國內芯片產業發展的瓶頸，其他方麵諸如原晶切割機，蝕刻機這些東西，國內的技術和國際有差距，但是這種差距並不大，在技術難度上，遠比光刻機要簡單的多。

也正是因為如此，段雲這是一開始，就把重點放在了光刻機的引進上。

“請跟我來。”田中聞言，帶著段雲前往了另外一間無塵車間。

和剛才的車間相比，這邊的無塵車間操作人員更少，隻有五六十人，機器也和第1個無塵車間有些差異。

“按照之前藤尾先生的設計方案，這台光刻機完全符合生產要求……”田中指著位於角落的一台光刻機對段雲說道。

“這種光刻機能生產多少微米的芯片？”段雲直接問道。

“這種設備可以生產出5英寸3微米級彆的芯片，屬於我們東芝集團上一代的生產設備……”田中對段雲回道。

其實當前中國能從國外高價購買到的最先進的芯片生產線也隻能生產5微米級彆的芯片，如果不是合資辦廠以及藤尾增岡閃存芯片設計是建立在三微米芯片生產技術上的話，那麼東芝集團是不可能把能生產三微米芯片的光刻機賣給中國的，畢竟是合資企業，不可能給最好的設備，但也絕對不可能給最次的。

即便是三微米的芯片技術，中國大陸一是直到1993年的時候才開發出來，而且僅僅是研製出來，真正實現量產是幾年後的事情了。

所以段雲拿到這台機器的話，就等於領先國內芯片技術整整10年，並且和國際上最先進的一微米技術隻有5年左右的差距！

如果段雲能把握這次機會的話，憑借他前世對於微電子技術的功底，是極有可能完成彎道超車的，而到了那個時候，段雲就有了和國際頂尖芯片企業競爭的實力。

“嗯。”段雲點了點頭，內心雖然有些興奮，但在表麵上則顯得有些無所謂的樣子。

隨後，在田中的帶領下，段雲一行又參觀了車間裡的其他設備。

“田中先生，東京這邊有什麼好的壽司店嗎？我想請你中午一起喝上一杯……”離開車間後，段雲對田中說道。

一般來說，國內談生意都是在酒桌上，有時候在正規場合談不下來的生意，一旦上了酒桌，幾杯酒下肚，再難談的生意也能搞定，所以段雲也想邀請田中一起喝酒，因為之前在中國的時候，倆人就一起喝過酒，所以這也不算是唐突的邀請。

“這個……”田中聞言頓時麵露難色。

原來，和當時田中來中國考察不一樣的是，這次的事情不一樣，因為參觀完廠子和設備之後，還有個後期談判的事情。

日本人對待工作是非常嚴謹認真的，而且紀律性非常強，尤其是大公司的職員，一切都以公司的利益為最高追求，日本人一般不會在酒桌上談正規的生意，而且段雲宴請田中的事情，如果被公司的高層知道後，他有可能會被質疑收受賄賂出售公司利益，一旦董事會對他提出不信任案，那麼他這個電子部的部長就無法繼續當下去。

所以在正式談判結束之前，田中是必須要和段雲保持距離的，段雲在國內談生意的這一套，放在日本顯然不太好使……